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KT-DM250镀膜仪
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商品说明
用 途：KT-DM250镀膜仪是我公司研发用于光学薄膜、有机物薄膜和金属薄膜等。特别适合于高校、高科技企业、科研院所等用于膜层研究和器件的金属电极镀膜，目前在国内的检测实验室，钙钛矿太阳能电池领域等应用较多。 商品参数
主要技术参数：1. 真空室：∅250mm*H400mm（标配400mm高，若需要LIFT-OFF工艺腔体需加工至500）；2. 最大可镀工件直径：3-4寸，配抽拉式样品台，样品可旋转；另配备铜基板样品台；3. 极限真空度：5*10-1Pa（机械泵系统）、8*10-5Pa（分子泵系统）;4. 抽气时间：大气压~6*10-4Pa小于30min（分子泵系统）；5. 蒸发：电阻式蒸发电极（1对） 功率：2KW；配备1套数显蒸发电源。6. 开启方式：正面开门结构，便于换丝及装料；7. 真空系统：机械泵真空系统（机械泵+分子泵系统选配）；8. 水冷循环系统 0.5P； |
